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SuperViewW納米級白光干涉三維測量儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

CEM3000系列國內(nèi)高分辨力臺式掃描電鏡用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析，標配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng)，能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求，實現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。

中圖儀器鎢燈絲高分辨率掃描電鏡（CEM3000系列）SE模式下分辨率優(yōu)于4nm (@20kV)，最高20萬倍放大。無論是60nm銀線還是晶粒結(jié)構(gòu)，細節(jié)分毫畢現(xiàn)。低真空模式抽氣僅需40秒，高真空模式1.5分鐘，較傳統(tǒng)電鏡效率提升60%以上。

VT6000共聚焦表面粗糙度多功能測量顯微鏡主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)膜材、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中，其次是對表面粗糙度、面積、體積等參數(shù)的檢測中。

NS系列沉積薄膜高度臺階儀能夠測量納米到330μm或1050μm的臺階高度，可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

CEM3000臺式掃描電鏡快速抽放氣設(shè)計+低真空模式（可選配），一鍵出片+自動調(diào)節(jié)功能，無需專業(yè)運維團隊，普通員工即可快速上手，降低人力培訓(xùn)成本，高效獲取高質(zhì)量成像。